Die Perfluoroelastomersprodukte von GMORS in den Siliziumscheibesprozessen bieten die umfassende Verträglichkeit des Prozessgases, ausgezeichnete thermische Beständigkeit und verhindern Risiken der Ausgassung und Metallsverschmutzung.

Die Originalhersteller von Haupt-SEMI-Austüstung prüften die Lieferanten.